面对韩方专利指控，中国半导体设备路在何方？
1 驴唇不对马嘴的指控 令人意外的是，这股邪火居然烧到了其他中国企业。6月1日，针对“SEMES泄密案”，国内半导体清洗设备厂商盛美上海作出回应：盛美上海及控股子公司与该事件完全无关。 为了澄清谣言，盛美还特意强调了自己的业务，“盛美在业界首创的SAPS兆声波单片清洗技术荣获2020年上海市科学进步一等奖。”SEMES涉及的半导体设备，则是超临界二氧化碳清洗技术，两者技术路线完全不同，盛美上海自然毫无瓜葛。 2 半导体设备行业的敲门砖
对半导体引以为傲的韩国人，此次却显得不太上心：不论是两国总统还是三星会长，都没有在要求无尘的芯片生产线里配备防尘服。作为对比，引导参观的工程师倒是设备齐全。这不由得让人怀疑，双方对“技术同盟”的关注，只停留在了纸面上。
拜登走后，韩国半导体的“洁癖”又回来了：据《韩国商报》报道，5月25日，韩国水原地方检察厅宣布，由于技术泄密，包括三星旗下半导体设备厂商SEMES员工在内的7人被移交法院。“技术外流”的帽子，被扣到了中国人的头上。
面对韩方的咄咄逼人，中国企业显然有着自己的节奏。
文| 清柠
根据韩方的说法，中国人看上了先进的半导体清洗技术。
水原检察厅办公室人员表示，涉及商业泄密的7人，窃取的是三星电子子公司SEMES从2018年3月到2021年底开发的超临界清洗设备制造技术。在两名前SEMES技术人员的帮助下，他们制造了14台半导体清洗机，并且在中国获利710亿韩元（合3.763亿人民币）。
这里提到的SEMES，成立于1993年，是韩国最大的预处理半导体设备制造商。清洁、蚀刻、摄影、测试和封装等芯片制造过程，SEMES可谓无所不包。由于三星控股SEMES比例超90%，该公司已经成为三星重点扶持的半导体设备厂商。SEMES生产的蚀刻设备，也在三星的开V-NAND闪存工厂中开始使用。
技术盗窃案的核心，是SEMES前员工A某。他曾在该公司担任研究员超过10年，因此迎来了中国企业的投资。从SEMES离职后，他并没有向公司归还技术数据，而是从合作方拿到技术指标，设计图纸，药品渠道和软件程序等关键信息后，自制半导体清洗设备出售给中国企业。
从这个角度看，SEMES的技术泄密，更像是离职员工的糊涂账。但是韩国媒体却乐于在复杂的案件中，寻找“中方得利”的线索。韩国KBS电视台就在5月26日的报道中表示，A某的利益相关方包括“中国国营半导体研究机构”ICRD，即上海集成电路研发中心有限公司。
不过从主营业务看，ICRD的关系跟清洗机关系不大。从企业介绍看，ICRD提供的主要是前期研发，技术验证和工艺配套工作，不涉及设备制造。应用设备技术为CMOS图像传感器，高压功率器件和智能视觉，同样不涉及设备制造。ICRD与窃密组织的关系，可能只停于设备采购。
如果跳出“窃密丑闻”，仅从半导体清洗设备领域观察，盛美半导体正在针对半导体领域的核心市场展开渗透。
理论上说，半导体制造设备按技术流程分为光刻机，过程检测、薄膜沉积、离子注入、清洗、氧化退火等设备。其中清洗设备价值仅占5%左右，并且技术壁垒较低。不过由于芯片制造需要高效的清洁工序，这一领域一直是半导体设备行业的敲门砖。除了盛美之外，北方华创、至纯科技等企业都有参与。
盛美半导体进入清洗设备行业，也离不开行业的历史契机：2005年，全球半导体产线向国内转移，半导体设备需求增加，还在海外的ACMR，以“盛美半导体”为名，作为重点企业被引进上海。
经过3年的研发后，盛美开发SAPS（空间交变相移兆声波清洗）技术。这套新技术制造的设备，很快就得到了存储巨头海力士的关注。2009年，海力士引入盛美的清洗设备，并启动了长达两年的产品验证。连续两年没有订单带来的营收，也给盛美带来了巨大的压力。
好消息是，经过两年的测试后，盛美半导体的设备帮助海力士提高了1.5%的良率，并在2013年迎来了客户的复购。以存储芯片订单为基础，盛美半导体又赢得了长江存储中芯国际及华虹集团的产品订单。这几家公司作为大客户，构成了盛美超过80%的订单。
随着中国半导体产能的增长，国产企业开始在清洗设备等外部领域逐步抢回话语权。2019中国半导体清洗设备招标采购份额中，盛美半导体占比20.5%，已经和国外巨头泛林半导体看齐。从毛利率来看，其单片清洗设备毛利率约45%，也能保障企业的生存。
但是长期来看，国内半导体清洗设备参与企业较多，盛美为了缓解可能的竞争压力，正在开发湿法刻蚀设备、无应力抛光设备等领域。同样参与清洗设备竞争的北方华创和芯源微，也加入到了刻蚀设备和涂胶显影设备等领域。
3
半导体设备不止“刷盘子”
对于中国半导体企业而言，抢到清洗设备这样的“刷盘子”市场很赚钱，但这还不够。
对于这一点，日本清洗设备巨头迪恩士深有感触。作为世界第一台旋转晶片清洗系统的研发者，迪恩士在2016年就占据了半导体清洗设备53%的市场。但是随着中国企业的入场，这一数字已经下降到了45%，盛美上海和北方华创等企业，在未来也会面临同样的压力。
从市场转型来看，迪恩士曾经考虑过刻蚀设备的业务，但这些业务却并没有为公司改善营收结构。迪恩士2022年H1财报指出，公司总营收的95%来自清洗设备，其中单品清洗机占比高达70%，严重依赖SU-3200这款产品。
与迪恩士相比，国产半导体设备厂商同样面临严重的马太效应。但是目前除光刻机以外，其余流程设备都在加速渗透。
去胶设备方面，屹唐半导体已经依靠干法去胶设备拿下了超过30%的全球市场份额。热处理设备领域，屹唐也凭借着0.1%的市场份额在2020年排名全球前十。CMP领域，中电科45所和华海清科都拿下了国内订单，后续替代也逐步提上日程。
截至目前，国内半导体设备攻关的细分领域为离子注入设备，刻蚀设备和薄膜沉积设备。涂胶显影设备领域，芯源微目前也在尝试小规模替代。考虑到这些领域的压力，包括屹唐、芯源微在内的企业，正在通过清洗和CMP等低门槛领域进行业务多样化，用优势项目的营收推动关键领域的技术攻关。
面向未来，国产设备的替代目标，可能是二手芯片设备。《华尔街日报》去年年底的一篇专题报道指出，为了满足原有的生产周期，二手设备价格水涨船高，已经超出了原有的价值。仅以1995年生产的佳能FPA3000i4，这款设备2014年的报价仅为10万美元，2021年则是170万美元。
依照传统的行业规律，成熟制程芯片厂商为了对抗成本压力，会选择二手设备。二手半导体设备厂商Surplus Global首席执行官 Bruce Kim曾表述，公司在过去20年中回收了40000套设备。但是由于二手设备需求的持续上涨，这些设备的交付也可能出现问题。与全新设备和二手设备相比，国产设备在交付上会有更加明显的优势。
深入核心的路很难，但是中国半导体从未停下脚步。
相关文章
-
陈都灵一袭绿色抹胸长裙 站在柳树下宛若自然精灵
近日，陈都灵最新造型美照释出，她身着一袭绿色抹胸长裙，站在柳树下宛若自然精灵，神秘而又清新。...
2025-04-24 09:21:51 都灵站在抹胸 -
梁朝伟刘嘉玲周润发齐聚 为杜琪峰庆生掀起回忆杀
4月22日晚，刘嘉玲于社交账号上发布了与梁朝伟、周润发、张叔平等好友为杜琪峰庆生的合影，画面中众人笑容满面，多年情谊尽显。刘嘉玲周润发同框合影，刘嘉玲微卷的利落短发造型十分吸睛。...
2025-04-24 09:21:44 刘嘉玲梁朝伟杜琪 -
林心如就黄子佼事件强硬表态：对虐待及影片持有行为零容忍
台媒消息显示，林心如于近期就黄子佼藏匿未成年人性影像一事再度发声。她郑重表明立场，明确表示对虐待未成年人以及持有相关影像的行为绝无妥协余地。...
2025-04-24 09:21:41 强硬影片行为 -
-
董璇泳池旁喝椰子水好惬意 穿优雅礼裙身姿曼妙
近日，董璇在社交平台上晒出一组写真美照，并配文称：“提前在广州感受了夏日赛道。”照片中，她身着一袭优雅礼裙在游泳池旁喝椰子水，面露明媚笑容，十分惬意。...
2025-04-24 09:21:14 椰子泳池曼妙 -
-
形势比人强，特朗普关税战打不下去了！
原创： 后沙来源微信公众号：后沙已获转载授权昨天在短短不到6个小时之内，特朗普发动的关税战又变调了。北京时间0时左右，美国财政部长贝森特在摩根大通的闭门会议上，放风称，中美之间的高关税是不可持续的，预计会降温。预计什么，预料到中国的态度？自己信吗？1点左右，白宫发言人莱维特在新闻发布会上也表达了类似的态度。5点左右，特朗普亲自确认，针对中国进口商品的关税税率不会维持在当前水平（145%），“它会大幅下降，但也不会降至零，中国将对最终的关税税率非常满意”。特朗普还说了些肉麻的话，要和中国幸福地生活在一起（v...
2025-04-24 09:21:03 关税不下去了形势 -
-
怂是真认怂，事是真没完！
作者：码头整薯条的海鸥来源：码薯学人今天我们来聊聊服软的特朗普。在美国时间4月22号发生了4件事：特朗普公开说开始考虑降低对华关税税率（强调不是0）；特朗普放出消息说中美贸易谈判进展顺利；特朗普表示无意解雇美联储主席鲍威尔，但是还是要求美联储降息；特朗普的财长贝森特在22号摩根大通的闭门投资会上明确表示中美贸易战不能长期持续。这4条消息合在一起，我们可以明确一点，特朗普在释放善意。但是，善意不代表胜利。果然，就在4月23日，美国媒体突然传出消息说中美芬太尼谈判陷入僵局。22号的宣传口径表明特朗普确实在认怂...
2025-04-24 09:21:01 怂是真认怂事是真 -
特朗普不想打关税战了，想和中国幸福地生活在一起！
原创： 一棵青木来源公众号：远方青木已获转载授权特朗普发动的关税战又进入新阶段了，以一种你想都不敢想的方式。4月23日，特朗普公开发言称对中国的145%关税太高了，自己很快会大幅度降低，但不会降低到零。特朗普还说，中国将对最终的关税税率非常满意，但他们必须跟美国达成协议。还有更离谱的，特朗普说：“我认为中国会很高兴，我们会幸福地生活在一起”。没错，真的是这么说的。中文翻译看起来非常肉麻，但原文其实更肉麻，特朗普使用的英文单词原文是“very happily”。不仅要在一起（live together），还...
2025-04-24 09:20:59 关税中国幸福
